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发明名称
摘要
申请公布号 JP2704045(B2) 申请公布日期 1998.01.26
申请号 JP19930517300 申请日期 1993.03.30
申请人 发明人
分类号 C23C2/02;C23C2/06;C23C28/02;(IPC1-7):C23C2/06 主分类号 C23C2/02
代理机构 代理人
主权项
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