| 发明名称 |
REFLECTING AND REFRACTING OPTICAL SYSTEM AND ITS ADJUSTING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1020197(A) |
申请公布日期 |
1998.01.23 |
| 申请号 |
JP19960188365 |
申请日期 |
1996.06.28 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
TAKAHASHI TETSUO;OMURA YASUHIRO |
| 分类号 |
G02B17/08;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B17/08 |
主分类号 |
G02B17/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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