| 发明名称 |
AIR BLOWER FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1022238(A) |
申请公布日期 |
1998.01.23 |
| 申请号 |
JP19960204066 |
申请日期 |
1996.06.29 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
FUKUNAGA TOSHIYA;KUROKI KATSUTOSHI |
| 分类号 |
B08B5/02;B24B55/12;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B5/02 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
