| 发明名称 |
POSITIONING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM EMPLOYING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1022248(A) |
申请公布日期 |
1998.01.23 |
| 申请号 |
JP19960170873 |
申请日期 |
1996.07.01 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
OTANI MASAMI;MORITA AKIHIKO |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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