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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1022267(A) 申请公布日期 1998.01.23
申请号 JP19960173823 申请日期 1996.07.03
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KONDO TETSURO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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