发明名称 BONDING DEVICE FOR WORK WITH BUMP
摘要
申请公布号 JPH1022350(A) 申请公布日期 1998.01.23
申请号 JP19960177624 申请日期 1996.07.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ARIKADO KAZUO
分类号 H01L21/60;H01L21/603;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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