| 发明名称 |
ELECTROLYTIC ION WATER CLEANING EQUIPMENT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1022249(A) |
申请公布日期 |
1998.01.23 |
| 申请号 |
JP19960170988 |
申请日期 |
1996.07.01 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
NAKAMURA TSUGIO;SHIMA YASUMASA;NAKAYAMA MASASHI |
| 分类号 |
B08B3/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
B08B3/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
