| 发明名称 |
PLASMA CONTROLLER FOR NONMIGRATING PLASMA APPLICATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1022094(A) |
申请公布日期 |
1998.01.23 |
| 申请号 |
JP19960173951 |
申请日期 |
1996.07.03 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP;NITTETSU PLANT DESIGNING CORP |
发明人 |
HONDA MINORU |
| 分类号 |
H05H1/36;B22D11/10;B22D11/11;B22D11/112;B22D11/116;B22D11/117;(IPC1-7):H05H1/36 |
主分类号 |
H05H1/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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