| 发明名称 |
POSITION MEASUREMENT DEVICE AND PATTERN MEASUREMENT DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1019513(A) |
申请公布日期 |
1998.01.23 |
| 申请号 |
JP19960186831 |
申请日期 |
1996.06.27 |
| 申请人 |
NIKON CORP |
发明人 |
OOKUBO YUKIHARU;URAKAWA FUMIAKI |
| 分类号 |
G01B9/02;G01B11/00;(IPC1-7):G01B11/00 |
主分类号 |
G01B9/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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