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发明名称 DEVICE FOR MEASURING LAYOUT DATA
摘要
申请公布号 JPH1019540(A) 申请公布日期 1998.01.23
申请号 JP19960179163 申请日期 1996.07.09
申请人 SEKISUI CHEM CO LTD 发明人 ABE TAKASHI;KOZAI HIROAKI
分类号 G01B21/00;(IPC1-7):G01B21/00 主分类号 G01B21/00
代理机构 代理人
主权项
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