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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1022374(A) 申请公布日期 1998.01.23
申请号 JP19960177804 申请日期 1996.07.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ITO AKIO;HORIE HIROSHI
分类号 H01L21/31;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
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