发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1022460(A) 申请公布日期 1998.01.23
申请号 JP19960192984 申请日期 1996.07.03
申请人 SONY CORP 发明人 UCHIDA SHIGENOBU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04;H01L21/306 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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