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发明名称
SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1021591(A)
申请公布日期
1998.01.23
申请号
JP19960173408
申请日期
1996.07.03
申请人
SONY CORP
发明人
TAKENOUCHI MASAKI
分类号
C23C14/35;G11B5/85;G11B5/851;G11B7/26;G11B11/10;G11B11/105;(IPC1-7):G11B7/26
主分类号
C23C14/35
代理机构
代理人
主权项
地址
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