发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1021591(A) 申请公布日期 1998.01.23
申请号 JP19960173408 申请日期 1996.07.03
申请人 SONY CORP 发明人 TAKENOUCHI MASAKI
分类号 C23C14/35;G11B5/85;G11B5/851;G11B7/26;G11B11/10;G11B11/105;(IPC1-7):G11B7/26 主分类号 C23C14/35
代理机构 代理人
主权项
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