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发明名称 ION IMPLANTATION METHOD AND APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH1021866(A) 申请公布日期 1998.01.23
申请号 JP19960173111 申请日期 1996.07.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKAGOME SHIGEHIKO
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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