发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1022384(A) 申请公布日期 1998.01.23
申请号 JP19960174463 申请日期 1996.07.04
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAKAI KAZUYOSHI;KATO TSUTOMU;SOMA YASUHISA
分类号 H01L21/31;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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