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发明名称 Halbleiteranordnung und Verfahren zu ihrer Herstellung
摘要
申请公布号 DE69220432(T2) 申请公布日期 1998.01.22
申请号 DE19926020432T 申请日期 1992.08.07
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 OKADA, TERUHIKO, KOMAKI-SHI AICHI-KEN, JP;KURIYAMA, HIROTADA, C/O MITSUBISHI DENKI K.K.LSI, ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP;KOHNO, YOSHIO, C/O MITSUBISHI DENKI K.K. LSI, ITAMI-SHI, HYOGO-KEN, JP
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8244;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/772 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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