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发明名称
Verfahren zum Ablegen einer anderen Dünnschicht auf einer Oxyd-Dünnschicht mit perovskiter Kristallstruktur
摘要
申请公布号
DE69404067(T2)
申请公布日期
1998.01.22
申请号
DE1994604067T
申请日期
1994.04.14
申请人
SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD., OSAKA, JP
发明人
TANAKA, SO, C/O OSAKA WORKS OF, KONAHANA-KU, OSAKA, JP
分类号
C01G1/00;C01G3/00;C04B41/89;C30B29/22;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24
主分类号
C01G1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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