发明名称 Verfahren zur Herstellung von integrierten Schaltkreisen unter Einsatz einer Maske
摘要
申请公布号 DE69313797(T2) 申请公布日期 1998.01.22
申请号 DE19936013797T 申请日期 1993.12.02
申请人 AT & T CORP., NEW YORK, N.Y., US 发明人 CUTHBERT, JOHN DAVID, BETHLEHEM, PENNSYLVANIA 18017, US;FAVREAU, DAVID PAUL, COOPERSBURG, PENNSYLVANIA 18036, US
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/312;H01L21/3213;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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