Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung,申请号DE19904002673-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren zur Herstellung einer Halbleiteranordnung
摘要
申请公布号	DE4002673(C2)	申请公布日期	1998.01.22
申请号	DE19904002673	申请日期	1990.01.30
申请人	MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	HISAMOTO, YOSHIAKI, ITAMI, HYOGO, JP;YAMAGUCHI, HIROSHI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号	H01L21/225;H01L21/74;H01L21/76;H01L21/762;H01L21/8249;H01L27/06;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/762;H01L27/04	主分类号	H01L21/225
代理机构		代理人
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