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发明名称 Apparatus for ellipsometric investigations of materials
摘要
申请公布号 EP0508558(B1) 申请公布日期 1998.01.21
申请号 EP19920250078 申请日期 1992.04.03
申请人 HAHN-MEITNER-INSTITUT BERLIN GESELLSCHAFT MIT BESCHRAENKTER HAFTUNG 发明人 CRAMER, LUDGER, DIPL.-PHYS.;DUWE, HARTMUT, DIPL.-PHYS.;LEWERENZ, HANS-JOACHIM, DR.RER.NAT.
分类号 G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21 主分类号 G01N21/21
代理机构 代理人
主权项
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