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经营范围
发明名称
Fabrication of devices utilizing a wet etchback procedure
摘要
申请公布号
EP0437933(B1)
申请公布日期
1998.01.21
申请号
EP19900312885
申请日期
1990.11.27
申请人
AT&T CORP.
发明人
MARTIN, EDWARD PAUL, JR.;SCHUTZ, RONALD JOSEPH;SMOLINSKY, GERALD
分类号
H01L21/306;H01L21/308;H01L21/3105;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311;H01L21/768
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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