发明名称 Fabrication of devices utilizing a wet etchback procedure
摘要
申请公布号 EP0437933(B1) 申请公布日期 1998.01.21
申请号 EP19900312885 申请日期 1990.11.27
申请人 AT&T CORP. 发明人 MARTIN, EDWARD PAUL, JR.;SCHUTZ, RONALD JOSEPH;SMOLINSKY, GERALD
分类号 H01L21/306;H01L21/308;H01L21/3105;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311;H01L21/768 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
地址