发明名称 在光学基片上蒸镀镀膜的真空镀膜设备
摘要 在用于在光学基片如塑料眼镜片表面上蒸镀镀膜的真空镀膜设备中,光学基片被夹紧在支架上,支架本身在一个可抽成真空的容器内在可更换的蒸发源的上方或下方,支架由回转架装置构成,并有多个围绕一块圆形支承板(23)设置的径向回转架,它们分别支承在一根临时可旋转180°的转轴上,其中,每一个回转架包括用于夹紧在固定一个要双面镀膜的基片的装置,或用于固定两个要单面镀膜的基片的装置,以及,在回转架(21)或转轴(22)上连接有用于同时回转全部回转架的回转机构。
申请公布号 CN1170774A 申请公布日期 1998.01.21
申请号 CN97111505.2 申请日期 1997.05.09
申请人 萨蒂斯真空工业销售股份公司 发明人 R·苏特
分类号 C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 赵辛;蔡民军
主权项 1.用于在光学基片如塑料眼镜片表面蒸镀镀膜的真空镀膜设备,光学基片可被夹紧在支架上,支架本身在一个可抽成真空的容器内在可更换的蒸发源的上方或下方,其特征为:支架由回转架装置(3)构成,并有多个围绕一块圆形支承板(23)设置的径向回转架(21),它们分别支承在一根临时可旋转180°的转轴(22)上,其中,每一个回转架(21)包括用于夹紧地固定一个要双面镀膜的基片的装置,或用于固定两个要单面镀膜的基片的装置,以及,在回转架(21)或转轴(22)上连接有用于同时回转全部回转架的回转机构。
地址 瑞士库斯纳茨