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发明名称
摘要
申请公布号	JP2701502(B2)	申请公布日期	1998.01.21
申请号	JP19900013613	申请日期	1990.01.25
申请人		发明人
分类号	H01L21/336;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78	主分类号	H01L21/336
代理机构		代理人
主权项
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