发明名称 LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH1017392(A) 申请公布日期 1998.01.20
申请号 JP19960173461 申请日期 1996.07.03
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 KIKUCHI YUKIO
分类号 C30B19/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/06 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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