| 发明名称 |
FILM FORMING DEVICE AND FILM FORMING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1018034(A) |
申请公布日期 |
1998.01.20 |
| 申请号 |
JP19960176970 |
申请日期 |
1996.07.08 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
KITAGAWA KOJI;OSAKO JUNICHI |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/52;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/52 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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