| 发明名称 |
Micromecanical element with a contactor part as mobile structure, microsystem and method for manufacturing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0680064(B1) |
申请公布日期 |
1998.01.21 |
| 申请号 |
EP19950106102 |
申请日期 |
1995.04.24 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
ZETTLER, THOMAS, DR. |
| 分类号 |
B81B3/00;H01H1/00;H01H35/02;(IPC1-7):H01H35/02 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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