| 发明名称 |
METHOD FOR PHOTOETCHING AND ITS EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1018057(A) |
申请公布日期 |
1998.01.20 |
| 申请号 |
JP19960175072 |
申请日期 |
1996.07.04 |
| 申请人 |
SUMITOMO METAL IND LTD |
发明人 |
KURITA KOICHI;IMASAKA SHINICHI;HARA KAZUNORI;KITA ISATO |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F1/08;H01J9/14;H01L23/50;H05K3/06;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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