| 发明名称 |
PRODUCTION OF CARBON NITRIDE AND CARBON NITRIDE OBTAINED BY SAME METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1018040(A) |
申请公布日期 |
1998.01.20 |
| 申请号 |
JP19960169516 |
申请日期 |
1996.06.28 |
| 申请人 |
OSAKA GAS CO LTD |
发明人 |
NISHINO HITOSHI;TADA SHINICHI;MORIKAWA SHIGERU;INOUE NAOKI;FUJII TAKAMITSU |
| 分类号 |
C01B21/082;C23C14/22;C23C16/34;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/318;(IPC1-7):C23C16/34 |
主分类号 |
C01B21/082 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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