| 发明名称 |
CLEANING METHOD BY ELECTROLYTIC ION WATER AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1015509(A) |
申请公布日期 |
1998.01.20 |
| 申请号 |
JP19960170967 |
申请日期 |
1996.07.01 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
WATANABE KAZUHIRO;KIDA TETSUYA;NAKAMURA TSUGIO;SHIMA YASUMASA |
| 分类号 |
G02F1/13;B08B3/10;C02F1/46;G02F1/1333;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/10;G02F1/133 |
主分类号 |
G02F1/13 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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