发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1012730(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960167386 申请日期 1996.06.27
申请人 NEC CORP 发明人 TANAKA MOTOKO
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/70;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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