发明名称 MEASURING METHOD OF DIMENSIONS OF PGA BASE
摘要
申请公布号 JPH109824(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960164990 申请日期 1996.06.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 NISHIMOTO SHINYA
分类号 G01B11/02;H01L23/12;(IPC1-7):G01B11/02 主分类号 G01B11/02
代理机构 代理人
主权项
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