| 发明名称 |
SCANNING PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH1010140(A) |
申请公布日期 |
1998.01.16 |
| 申请号 |
JP19960185428 |
申请日期 |
1996.06.26 |
| 申请人 |
HITACHI CONSTR MACH CO LTD;HITACHI LTD |
发明人 |
MURAYAMA TAKESHI;MORIMOTO TAKASHI;KURODA HIROSHI;HOSAKA SUMIO |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q10/06;G01Q20/04;G01Q60/38;(IPC1-7):G01N37/00 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
