发明名称 CONNECTOR AND METHOD AND EQUIPMENT FOR TESTING SEMICONDUCTOR USING CONNECTOR
摘要
申请公布号 JPH1010191(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960159391 申请日期 1996.06.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUMOTO AKITO;NAKAZATO SHINJI;IIDA YOSHIKAZU
分类号 G01R31/26;H01L21/66;H01L23/32;H01R11/01;H01R33/76;H05K3/32;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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