发明名称 |
CONNECTOR AND METHOD AND EQUIPMENT FOR TESTING SEMICONDUCTOR USING CONNECTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH1010191(A) |
申请公布日期 |
1998.01.16 |
申请号 |
JP19960159391 |
申请日期 |
1996.06.20 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MATSUMOTO AKITO;NAKAZATO SHINJI;IIDA YOSHIKAZU |
分类号 |
G01R31/26;H01L21/66;H01L23/32;H01R11/01;H01R33/76;H05K3/32;(IPC1-7):G01R31/26 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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