| 发明名称 |
MEASURING METHOD OF FILM THICKNESS OF MULTILAYER THIN FILM AND METHOD AND EQUIPMENT FOR MANUFACTURING OPTICAL INFORMATION RECORDING MEDIUM WHICH USE THE METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH109829(A) |
申请公布日期 |
1998.01.16 |
| 申请号 |
JP19960166026 |
申请日期 |
1996.06.26 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
AKIYAMA TETSUYA;ONO EIJI;AKAHIRA NOBUO |
| 分类号 |
G01B11/06;G11B7/26;(IPC1-7):G01B11/06 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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