| 摘要 |
<P>La présente invention concerne la structure d'un dispositif d'affichage à cristal liquide et un procédé de fabrication d'une telle structure, dans lequel on utilise un transistor en couche mince comme élément de commutation; elle concerne particulièrement un procédé de fabrication d'un premier substrat d'un dispositif d'affichage à cristal liquide, utilisant un matériau organique tel que du BCB (benzocyclobutène) et du PFCB (perfluorocyclobutane) comme couche isolante et couche de protection.<BR/>L'introduction d'une couche organique dans le transistor en couche mince conduit à des problèmes dans les caractéristiques du dispositif d'affichage à cristal liquide. L'invention propose donc un traitement au plasma, avec un gaz contenant du O2 , N2 , N ou F, appliqué à la couche semi-conductrice et à la couche d'isolation de grille organique, qui empêche le détachement des couches, et les pièges de charge à l'interface, comprenant la couche semi-conductrice, de sorte que le taux d'ouverture du dispositif d'affichage peut être amélioré, sans pour autant influencer la caractéristique de transmission du transistor en couche mince.</P> |
