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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1012742(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19970036963 申请日期 1997.02.06
申请人 LG SEMICON CO LTD 发明人 HYON SAN HOAN;ZE KYON AN
分类号 H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/088;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
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