发明名称 WIRING CONNECTION STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1012725(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960158196 申请日期 1996.06.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP;RYODEN SEMICONDUCTOR SYST ENG KK 发明人 KUBOTA MUTSUMI;OYAGI ATSUSHI;OTSU YOSHITAKA
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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