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发明名称 PARTICLE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH1010034(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960164759 申请日期 1996.06.25
申请人 NGK INSULATORS LTD 发明人 HIROTA JUICHI;SHIBATA KAZUYOSHI
分类号 G01N15/10;F16N29/00;G01N29/036;G01N29/04;G01N29/22;H01L41/08;(IPC1-7):G01N15/10 主分类号 G01N15/10
代理机构 代理人
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