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发明名称 SHAPE OBSERVER
摘要
申请公布号 JPH1012176(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960164578 申请日期 1996.06.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 AKAMA YOSHIAKI;HAYASHI MASAKAZU
分类号 H01J37/12;H01J37/147;H01J37/244;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28 主分类号 H01J37/12
代理机构 代理人
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