发明名称 ELECTROSTATIC CAPACITY TYPE PRESSURE SENSOR, ITS PRODUCTION AND GAS ABNORMALITY MONITOR DEVICE USING ELECTROSTATIC CAPACITY TYPE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH109985(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960165680 申请日期 1996.06.26
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MONJU HIDETO;FUJII YUKO
分类号 G01L9/12;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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