发明名称 |
ELECTROSTATIC CAPACITY TYPE PRESSURE SENSOR, ITS PRODUCTION AND GAS ABNORMALITY MONITOR DEVICE USING ELECTROSTATIC CAPACITY TYPE PRESSURE SENSOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH109985(A) |
申请公布日期 |
1998.01.16 |
申请号 |
JP19960165680 |
申请日期 |
1996.06.26 |
申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
MONJU HIDETO;FUJII YUKO |
分类号 |
G01L9/12;(IPC1-7):G01L9/12 |
主分类号 |
G01L9/12 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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