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发明名称 CAPACITANCE-TYPE PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH109986(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960167068 申请日期 1996.06.27
申请人 TOKIN CORP 发明人 TSURUGA KIKUO
分类号 G01L9/12;G01L9/00;G01L13/06;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
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