发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF, AND MIS DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH1012881(A) 申请公布日期 1998.01.16
申请号 JP19960179924 申请日期 1996.06.20
申请人 RICOH CO LTD 发明人 KATO SEIICHI
分类号 H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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