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经营范围
发明名称
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH1012631(A)
申请公布日期
1998.01.16
申请号
JP19960161963
申请日期
1996.06.21
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
FUJII TAKAYUKI
分类号
H01L29/872;H01L21/338;H01L29/47;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338
主分类号
H01L29/872
代理机构
代理人
主权项
地址
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