| 发明名称 |
SCANNING CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1012170(A) |
申请公布日期 |
1998.01.16 |
| 申请号 |
JP19960162763 |
申请日期 |
1996.06.24 |
| 申请人 |
JEOL LTD |
发明人 |
YAMADA MITSUGI;ARIMA HIDEAKI |
| 分类号 |
H01J37/22;H01J37/147;H01J37/153;(IPC1-7):H01J37/147 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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