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发明名称 Graben-DRAM-Zelle mit Substratplatte
摘要
申请公布号 DE69220543(T2) 申请公布日期 1998.01.15
申请号 DE19926020543T 申请日期 1992.04.11
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BRONNER, GARY B., MOUNT KISCO, N.Y. 10549, US;DHONG, SAN H., MAHOPAC, N.Y. 10541, US;HWANG, WEI, ARMONK, N.Y. 10504, US
分类号 H01L21/76;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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