发明名称 Behälter und Träger für Halbleiterplättchen (Wafer)
摘要
申请公布号 DE19731174(A1) 申请公布日期 1998.01.15
申请号 DE19971031174 申请日期 1997.07.10
申请人 FLUOROWARE, INC., CHASKA, MINN., US 发明人 NYSETH, DAVID L., PLYMOUTH, MINN., US
分类号 B65D85/86;E21B7/00;E21B11/00;H01L21/673;(IPC1-7):B65G49/07;H01L21/68 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
主权项
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