Gerät und Verfahren zu erhöhter induktiver Ankopplung an Plasmen mit reduzierter Zerstäubungskontamination,申请号DE19946003816T-传众专利搜索

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发明名称	Gerät und Verfahren zu erhöhter induktiver Ankopplung an Plasmen mit reduzierter Zerstäubungskontamination
摘要
申请公布号	DE69403816(T2)	申请公布日期	1998.01.15
申请号	DE19946003816T	申请日期	1994.01.05
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	CUOMO, JEROME J., LINCOLNDALE, NEW YORK 10540, US;GUARNIERI, C. RICHARD, SOMER, NEW YORK 10589, US;HOPWOOD, JEFFREY A., BREWSTER, NEW YORK 10509, US
分类号	C23C14/00;C23C16/50;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/32	主分类号	C23C14/00
代理机构		代理人
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