CHEMISCHE BESCHICHTUNG VON DIAMANTFILMEN UNTER BENUTZUNG VON PLASMAENTLADUNGSMITTELN AUF WASSERBASIS,申请号DE19926020379T-传众专利搜索

发明名称	CHEMISCHE BESCHICHTUNG VON DIAMANTFILMEN UNTER BENUTZUNG VON PLASMAENTLADUNGSMITTELN AUF WASSERBASIS
摘要
申请公布号	DE69220379(T2)	申请公布日期	1998.01.15
申请号	DE19926020379T	申请日期	1992.11.05
申请人	RESEARCH TRIANGLE INSTITUTE, RESEARCH TRIANGLE PARK, N.C., US	发明人	RUDDER, RONALD, A., WAKE FORREST, NC 25787, US;HUDSON, GEORGE, C., GOLDSBORO, NC 25733, US;HENDRY, ROBERT, C., HILLSBOROUGH, NC 27514, US;MARKUNAS, ROBERT, J., CHAPEL HILL, NC 27514, US
分类号	C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/507;C23C16/511;C30B29/04;(IPC1-7):B05D3/06;B05D5/12;C23C16/00;H01J37/32	主分类号	C23C16/26
代理机构		代理人
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