| 发明名称 |
EQUIPMENT OPERATING CONDITION RECORDER AND SIGNAL WORK DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH106190(A) |
申请公布日期 |
1998.01.13 |
| 申请号 |
JP19960167043 |
申请日期 |
1996.06.27 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
NASUKAWA SATORU;TAKIYAMADA TAKESHI;KOGURE TSUNEO |
| 分类号 |
B23Q41/08;G05B19/418;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):B23Q41/08 |
主分类号 |
B23Q41/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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