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发明名称 DEVICE FOR EPITAXIAL GROWTH IN LIQUID PHASE
摘要
申请公布号 JPH107489(A) 申请公布日期 1998.01.13
申请号 JP19960162849 申请日期 1996.06.24
申请人 SHARP CORP 发明人 INOKUCHI YUKARI
分类号 C30B19/06;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B19/06 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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